广泛应用于半导体制造领域。它的高精度和可靠性使其在芯片生产过程中扮演着重要角色。该组件能够确保光刻机在纳米级别的制造过程中实现卓越的性能和稳定性。主要参数型号：ASML 865-8201-001尺寸：约320mm x 240mm x 150mm（具体尺寸可能因实际配置略有不同）重量：约12kg工作电压：24V DC工作温度范围：15°C至35°C存储温度范围：-20°C至70°C湿度要求：工作湿度20%至80% RH（无凝结），存储湿度10%至90% RH（无凝结）接口类型：多种接口兼容，包括Ethernet、USB和串口等，便于与其他设备连接和数据传输精度等级：纳米级别，确保了极高的制造精度材料：采用高强度工程塑料和优质金属材料，具有良好的耐用性和抗腐蚀性认证：符合CE、RoHS等国际安全与环保标准